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 Effects of silicon doping on the chemical bonding states and properties of nitrogen-doped diamond-like carbon films by plasma-enhanced chemical vapor deposition 相关领域
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期刊：Thin Solid Films 作者：Kuniaki Nakamura; Haruhiko Ohashi; Yoshiharu Enta; Yoshiaki Kobayashi; Yushi Suzuki; et al 出版日期：2021-09-10 |
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