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 Comparative study on variable axis lens systems based on tapered deflectors 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Qingmao Zhang; Qirui Wang; Delong Chen; Junbiao Liu; Yanjun Zhang; et al 出版日期：2024-06-13 |
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