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  Tuning microstructural and oxidative characteristics of direct current- and high-power pulsed magnetron sputtered MoSi2-based thin films 相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：S. Richter; A. Bahr; Philip Kutrowatz; Tomasz Wójcik; S. Kolozsvári; et al 出版日期：2024-08-21 |
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