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  FEM Simulation of a High-Performance 128°Y–X LiNbO3/SiO2/Si Functional Substrate for Surface Acoustic Wave Gyroscopes 声表面波陀螺用高性能128°y-x LiNbO3/SiO2/Si功能衬底的有限元模拟
相关领域
陀螺仪
声表面波
瑞利波
机电耦合系数
材料科学
基质（水族馆）
瑞利散射
表面波
声学
光学
压电
物理
复合材料
海洋学
量子力学
地质学
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| 其它 |
期刊：Micromachines 作者：Rui Ma; Weiguo Liu; Xueping Sun; Shun Zhou; Dabin Lin 出版日期：2022-01-27 |
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