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Formation of Nanostructures on the Surface of Aluminum–Silicon Films By Bombardment with Low-Energy Argon Ions of Inductive RF-Discharge Plasma 低能氩离子轰击感应放电等离子体在铝硅薄膜表面形成纳米结构
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期刊:Journal of Surface Investigation X-ray Synchrotron and Neutron Techniques 作者:В. И. Бачурин; I. I. Amirov; K. N. Lobzov; С. Г. Симакин; M. A. Smirnova 出版日期:2024-12-01 |
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