Study of ALD-Deposited TaN Properties

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标题	Study of ALD-Deposited TaN Properties 相关领域材料科学
网址	https://doi.org/10.1134/s1063739724600778
DOI	10.1134/s1063739724600778 doi
其它	期刊：Russian Microelectronics 作者：Andrey V. Miakonkikh; Yu. M. Chesnokov; R. A. Gaidukasov; Vitaly Kuzmenko 出版日期：2024-12-01
求助人	ytt 在 2026-01-17 14:03:27 发布自安徽，悬赏 10 积分
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