Physical Analysis of Plasma Features in High Power Impulse Magnetron Sputtering（HiPIMS）Discharges

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标题	Physical Analysis of Plasma Features in High Power Impulse Magnetron Sputtering（HiPIMS）Discharges
网址	http://dx.doi.org/10.13922/j.cnki.cjvst.202110025
DOI	10.13922/j.cnki.cjvst.202110025 doi
求助人	小米粒在 2025-11-19 15:35:21 发布自山东，悬赏 10 积分
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