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Comparative evaluations on scallop-induced electric-thermo-mechanical reliability of through-silicon-vias 相关领域
可靠性(半导体)
材料科学
导线
通过硅通孔
蚀刻(微加工)
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期刊:Microelectronics Reliability 作者:Zhiqiang Cheng; Yingtao Ding; Lei Xiao; Xinghua Wang; Zhiming Chen 出版日期:2019-11-02 |
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