27.1 A 3-Axis MEMS Gyroscope with 2.8ms Wake-Up Time Enabled by a $\boldsymbol{1.5\mu} \mathbf{W}$ Always-on Drive Loop

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标题	27.1 A 3-Axis MEMS Gyroscope with 2.8ms Wake-Up Time Enabled by a $\boldsymbol{1.5\mu} \mathbf{W}$ Always-on Drive Loop 相关领域物理循环（图论）陀螺仪控制理论（社会学）微电子机械系统计算机科学数学量子力学组合数学人工智能控制（管理）
网址	https://doi.org/10.1109/isscc49661.2025.10904664
DOI	10.1109/isscc49661.2025.10904664 doi
其它	期刊：作者：Longjie Zhong; Jinwen Zhang; Chengyue Li; Ling Wang; Mingsheng Zhong; et al 出版日期：2025-02-16
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