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标题
EUV Minimum Pitch Single Patterning for 5nm Node Manufacturing
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9881276/9881277/09881283...
DOI
10.1109/iitc52079.2022.9881283 doi
其它 期刊：2022 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)
作者：Jungil Park; Yunki Choi; Jeong Hoon Ahn; Byung Je Jung; Hoyoun Lee; et al
出版日期：2022-09-12
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任性的鸵鸟 在 2026-01-26 19:32:08 发布自江苏，悬赏 10 积分
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