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 In situ hydrogen and nitrogen radicals surface modification of aluminum gallium nitride for high-performance aluminum gallium Nitride/Gallium nitride MIS-HEMTs fabrication 用于高性能氮化铝镓/氮化镓MIS-HEMTs制备的氮化铝镓原位氢氮自由基表面改性
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氮化镓
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铝
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氮化铝
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病理
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期刊：Applied Surface Science 作者：Yannan Yang; Yifei Zhao; Maolin Pan; Kaiyue Zhu; Haitao Huang; et al 出版日期：2025-03-01 |
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