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  Volume compensating materials after vapor phase infiltration: effect of different butyl isomers of polymer side-chains on high process temperature durability 气相渗透后的体积补偿材料：聚合物侧链不同丁基异构体对高工艺温度耐久性的影响
相关领域
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Norikatsu Sasao; Shinobu Sugimura; Koji Asakawa; Tomoya Oshikiri; Masaru Nakagawa 出版日期：2024-02-14 |
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