Revisiting the growth mechanism of atomic layer deposition of Al2O3: A vibrational sum-frequency generation study

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标题	Revisiting the growth mechanism of atomic layer deposition of Al2O3: A vibrational sum-frequency generation study
网址	https://doi.org/10.1116/1.4993597
DOI	10.1116/1.4993597 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Vincent Vandalon; W. M. M. Kessels 出版日期：2017-07-21
求助人	Kai2022 在 2026-07-15 21:39:26 发布自德国，悬赏 10 积分
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