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标题
Mathematical modelling of indirect measurements in scatterometry
相关领域
亥姆霍兹方程 有限元法 栅栏 衍射 亥姆霍兹自由能 衍射光栅 光学 物理 计算机科学 数学分析 数学 量子力学 热力学 边值问题
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.measurement.2006.04.009
DOI
10.1016/j.measurement.2006.04.009 doi
其它 期刊：Measurement
作者：H. Gross; R. Model; M. Bär; M. Wurm; B. Bodermann; et al
出版日期：2006-11-01
求助人
小谷 在 2026-09-20 09:18:28 发布自中国，悬赏 10 积分
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