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![]() 结构化磨料垫湿化学机械研磨Al2O3/TiO2复合涂层的表面粗糙度和断裂裂纹
相关领域
材料科学
研磨
复合数
复合材料
涂层
表面粗糙度
表面光洁度
冶金
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其它 |
期刊:Journal of Materials Research and Technology 作者:Weifeng Yao; Chen Zhan; Jianguo Yang; Fenfen Zhou; Tianqi Zhang; et al 出版日期:2024-09-01 |
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