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Impact of Defects for AlN Single Crystal Thin Film by Metal Nitride Vapor Phase Epitaxy
缺陷对金属氮化物气相外延AlN单晶薄膜的影响
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期刊:ACS Omega 作者:Luxiao Xie; Hui Zhang; Xinjian Xie; Endong Wang; Xiangyu Lin; et al 出版日期:2022-11-03 |
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