| 标题 |
  Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma Cl2等离子体中GaN纳米柱的择优晶向刻蚀
相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
等离子体刻蚀
光电子学
纳米柱
各向同性腐蚀
反应离子刻蚀
干法蚀刻
纳米技术
纳米结构
结晶学
化学
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Lucas Jaloustre; Valentin Ackermann; Saron Sales De Mello; Sébastien Labau; Camille Petit-Etienne; et al 出版日期：2023-10-01 |
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