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标题
The Design of Aluminum Nitride-Based Lead-Free Piezoelectric MEMS Accelerometer System
相关领域
材料科学 压电 灵敏度（控制系统） 压电加速度计 溅射 微电子机械系统 氮化铝 光电子学 加速度计 铝 电子工程 氮化物 薄膜 压电传感器 纳米技术 计算机科学 复合材料 工程类 图层（电子） 操作系统
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/16/9204488/09187544.pdf?...
DOI
10.1109/ted.2020.3019230 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：Ze-Hui Chen; Cheng-Ying Li; Sheng-Yuan Chu; Cheng-Che Tsai; Yi-Hsun Wang; et al
出版日期：2020-09-08
求助人
书中魂我自不理会 在 2026-04-03 23:22:59 发布自重庆，悬赏 10 积分
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