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高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展
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高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展 李瑜哲1张智勇2艾波1吴高胜1许保云1 1.上海化工研究院有限公司2.上海三爱富新材料科技有限公司 摘要：六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保。简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展。 关键词： 六氟丁二烯;蚀刻;纯化;性质;进展; 专辑： 工程科技Ⅰ辑 专题： 有机化工 分类号： TQ222.432 |
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