Effects of Oxygen in Reactive Ion-assisted Bipolar DC Magnetron Sputtering of Ta₂O₅ and SiO₂ Films

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文献求助详情

标题	Effects of Oxygen in Reactive Ion-assisted Bipolar DC Magnetron Sputtering of Ta₂O₅ and SiO₂ Films
网址	https://tpl.ncl.edu.tw/NclService/JournalContentDetail?SysId...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	小城遗民在 2026-03-12 13:25:37 发布自陕西，悬赏 10 积分
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