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 Reactive Magnetron Sputter Deposition of Titanium Oxynitride TiNxOy Coatings: Influence of Substrate Bias Voltage on the Structure, Composition, and Properties 反应磁控溅射沉积氧氮化钛TiNxOy涂层：衬底偏压对结构、成分和性能的影响
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