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Evaluation and compensation of a kinematic error to enhance prepolishing accuracy for large aspheric surfaces by robotic bonnet technology 机器人罩技术提高大非球面预抛光精度的运动误差评估与补偿
相关领域
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期刊:Optics express 作者:Bo Zhong; Qiao Xu; Jian Wang; Wenhui Deng; Xianhua Chen 出版日期:2020-08-10 |
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