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标题
The Chemical Deformation of a Thermally Cured Polyimide Film Surface into Neutral 1,2,4,5-Benzentetracarbonyliron and 4,4′-Oxydianiline to Remarkably Enhance the Chemical–Mechanical Planarization Polishing Rate
网址
http://dx.doi.org/10.3390/nano15060425
DOI
10.3390/nano15060425 doi
其它 期刊：Nanomaterials
作者：Man-Hyup Han; Hyun-Sung Koh; Il-Haeng Heo; Myung-Hoe Kim; Pil-Su Kim; et al
出版日期：2025-03-10
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王老大 在 2026-10-26 16:20:54 发布自江苏，悬赏 10 积分
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