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 A Strategy of Eliminating Silicon Dislocation in 55 NM Node Technology 55 NM节点技术中消除硅位错的策略
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期刊：2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者：Hualun Chen; Chao Bao; Jiawei Gu; Junwen Liu; Zhongcai Niu 出版日期：2022-06-20 |
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