Optimization of cleaning process in semiconductor gas delivery system by computational fluid dynamics simulation

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标题	Optimization of cleaning process in semiconductor gas delivery system by computational fluid dynamics simulation
网址	https://doi.org/10.1016/j.psep.2024.08.081
DOI	10.1016/j.psep.2024.08.081 doi
其它	期刊：Process Safety and Environmental Protection 作者：Ireh Seo; Rakyoung Jeon; Tae-ung Yoon; Chang-Ha Lee 出版日期：2024
求助人	srics 在 2026-05-23 23:00:50 发布自江苏，悬赏 10 积分
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