Reactive HiPIMS-deposited CrNx coatings: plasma diagnostics and nitrogen incorporation

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标题	Reactive HiPIMS-deposited CrNx coatings: plasma diagnostics and nitrogen incorporation
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.166240
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.166240 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Kaiwei Yang; Yiqun Feng; Yuxing Qi; Guanshui Ma; Zhenyu Wang; Aiying Wang 出版日期：2026
求助人	Wt 在 2026-06-01 19:55:03 发布自广东，悬赏 10 积分
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