Toward accurate optical model calibration with a near-perfect resist model

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标题	Toward accurate optical model calibration with a near-perfect resist model
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090211
DOI	10.1117/12.3090211 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning V 作者：Hyung Joon Chu; Junjiang Lei; Seongtae Jeong; Danping Peng; Kevin Lucas; Harsha Grunes 出版日期：2026
求助人	tester_gater 在 2026-05-14 13:28:30 发布自上海，悬赏 20 积分
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