Design and Investigation of Dual-Axis Electrostatic Driving MEMS Scanning Micromirror

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标题	Design and Investigation of Dual-Axis Electrostatic Driving MEMS Scanning Micromirror
网址	https://doi.org/10.20944/preprints202312.1406.v1
DOI	10.20944/preprints202312.1406.v1 doi
其它	期刊：作者：Longqin Wu; Yu-Sheng Lin 出版日期：2023-12-20
求助人	hongyan 在 2026-03-26 18:08:39 发布自陕西，悬赏 10 积分
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