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 Plasma enhanced atomic layer deposition of textured aluminum nitride on platinized substrates for MEMS 相关领域
材料科学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Nicholas A. Strnad; Wendy L. Sarney; G. B. Rayner; Robert R. Benoit; Glen R. Fox; et al 出版日期：2022-05-16 |
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