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标题
Characterization of field stitching in electron-beam lithography using moiré metrology
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/18/6/3287/8206324/3...
DOI
10.1116/1.1313573 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
作者：T. Murphy; M. Mondol; Henry I. Smith
出版日期：2000-12-06
求助人
西格玛 在 2026-09-14 15:35:58 发布自上海，悬赏 10 积分
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