已完结
  • 文献求助详情
标题
CF4 plasma-based atomic layer etching of Al2O3 and surface smoothing effect
网址
DOI
10.1116/6.0002210 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science & technology
作者:Chien-Wei Chen; Wen-Hao Cho; Chan-Yuen Chang; Chien-Ying Su; Nien‐Nan Chu; et al
出版日期:2022-12-30
求助人
烯灯 在 2026-08-06 16:49:36 发布自湖南,悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。
该求助已完结,感谢关注
如需该文献,请重新发布求助,前往发布
在科研通,轻松享有文献下载的自由
请遵守相关知识产权规定,勿将文件分享给他人,仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
瞬间de回眸完成签到 ,获得积分10
2秒前
芽芽配茄子完成签到,获得积分10
3秒前
金扇扇完成签到 ,获得积分10
3秒前
明天完成签到,获得积分10
3秒前
liuying发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
突突突完成签到,获得积分10
5秒前
yl发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
halona完成签到,获得积分10
8秒前
鼠鼠完成签到 ,获得积分10
8秒前
wwwwww发布了新的文献求助10
8秒前
饕餮发布了新的文献求助10
9秒前
科研通AI6.3应助snowskating采纳,获得10
10秒前
李爽完成签到 ,获得积分10
10秒前
cc完成签到,获得积分10
10秒前
Rain完成签到,获得积分10
11秒前
hhhhhhan616完成签到,获得积分10
11秒前
金秋完成签到,获得积分10
11秒前
yc完成签到,获得积分10
13秒前
13秒前
温柔的天奇完成签到,获得积分10
14秒前
收长头发辫子完成签到,获得积分10
14秒前
Hanmqi发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
15秒前
幽谷山灵完成签到,获得积分10
16秒前
LWJ要毕业完成签到 ,获得积分10
17秒前
红颜如梦完成签到 ,获得积分10
17秒前
郑泽森发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
18秒前
liuying完成签到,获得积分10
19秒前
lshao完成签到 ,获得积分10
20秒前
时间雨下完成签到,获得积分10
20秒前
yl完成签到,获得积分10
22秒前
23秒前
23秒前
THEO完成签到,获得积分10
23秒前
GSH完成签到 ,获得积分10
24秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Markov Chain Monte Carlo 5000
Evidence Summary. Injection (subcutaneous):op- timal administration 1000
悉尼大学博士学位论文,题目:Modelling and testing of one-sided stitched laminated composites. 作者:Kristopher P. Plain 700
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 610
Curating Socialism: A Handbook of International Art Exhibitions 1947-1989 530
Lengua e imagen en la comunicación digital 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7484400
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9076882
关于积分的说明 19356360
捐赠科研通 7099306
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3248088
关于科研通互助平台的介绍 2417413
邀请新用户注册赠送积分活动 2233492