Optimizing dual-function underlayers for minimal defectivity of directed self-assembly rectified extreme ultraviolet lithography patterns - 科研通

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标题	Optimizing dual-function underlayers for minimal defectivity of directed self-assembly rectified extreme ultraviolet lithography patterns
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.24.3.033001
DOI	10.1117/1.jmm.24.3.033001 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Byeong-U Bak; Lander Verstraete; Roberto Fallica; Yuki Fukumura; Takehiro Seshimo; et al 出版日期：2025-07-03
求助人	liu6666666666 在 2026-09-17 14:29:51 发布自北京，悬赏 20 积分
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