Study on modeling of resist heating effect correction in multi-beam mask writers

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标题	Study on modeling of resist heating effect correction in multi-beam mask writers
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3050107
DOI	10.1117/12.3050107 doi
其它	期刊：Novel Patterning Technologies 2025 作者：Haruyuki Nomura; Shingo Mori; Tomoo Motosugi 出版日期：2025-04-25
求助人	追寻的藏今在 2026-08-11 18:29:07 发布自湖南，悬赏 20 积分
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