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标题
Atomic layer deposition of Y2O3 films using a novel liquid homoleptic yttrium precursor tris(sec-butylcyclopentadienyl)yttrium [Y(sBuCp)3] and water
网址
https://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2023/ra/d3ra05217...
DOI
10.1039/d3ra05217f doi
其它 期刊：RSC Advances
作者：Akihiro Nishida; Tsukasa Katayama; Yasutaka Matsuo
出版日期：2023-01-01
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火星上初柳 在 2026-08-14 16:20:12 发布自北京，悬赏 10 积分
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