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标题
Necking Reduction at Low Temperature in Aspect Ratio Etching of SiO2 at CF4/H2/Ar Plasma
网址
http://dx.doi.org/10.3390/nano14020209
DOI
10.3390/nano14020209 doi
其它 期刊：Nanomaterials
作者：Hee-Tae Kwon; In-Young Bang; Jae-Hyeon Kim; Hyeon-Jo Kim; Seong-Yong Lim; et al
出版日期：2024-01-17
求助人
Joyezhou 在 2026-08-16 15:24:54 发布自广东，悬赏 10 积分
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