Atomic Layer Deposition of Tantalum Oxide and Tantalum Silicate from Chloride Precursors

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标题	Atomic Layer Deposition of Tantalum Oxide and Tantalum Silicate from Chloride Precursors
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/cvde.2011069...
DOI	10.1002/cvde.201106967 doi
其它	期刊：Chemical Vapor Deposition 作者：C. Adelmann; A. Delabie; Bart Schepers; L. Rodriguez; A. Franquet; et al 出版日期：2012-09-01
求助人	老年陈皮在 2026-07-17 16:32:50 发布自湖南，悬赏 10 积分
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