In situ oxygen plasma cleaning of microswitch surfaces—comparison of Ti and graphite electrodes

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标题	In situ oxygen plasma cleaning of microswitch surfaces—comparison of Ti and graphite electrodes
网址	http://stacks.iop.org/0960-1317/26/i=11/a=115020/pdf
DOI	10.1088/0960-1317/26/11/115020 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Changho Oh; F. Streller; W. Ashurst; R. Carpick; M. D. de Boer 出版日期：2016-10-18
求助人	acdc 在 2026-07-22 21:54:29 发布自安徽，悬赏 10 积分
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