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标题
[高分] Pattern Collapse of High-Aspect-Ratio Silicon Nanostructures - A Parametric Study
网址
DOI
10.4028/www.scientific.net/ssp.255.136 doi
其它 期刊:Solid State Phenomena
作者:Nandi Vrancken; Guy Vereecke; Stef Bal; Stefanie Sergeant; Geert Doumen; et al
出版日期:2016-09-05
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heimajiaerji 在 2026-08-29 16:51:18 发布自湖北,悬赏 50 积分
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