Numerical study of slurry replacement and distribution in chemical mechanical polishing using multi-zone analysis

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标题	Numerical study of slurry replacement and distribution in chemical mechanical polishing using multi-zone analysis
网址	https://doi.org/10.1080/13873954.2026.2662628
DOI	10.1080/13873954.2026.2662628 doi
其它	期刊：Mathematical and Computer Modelling of Dynamical Systems 作者：Jaesung Lee; C. Im; Kang-Sin Choi; Bonchan Koo; Jiho You 出版日期：2026-04-21
求助人	我爱刘惜君在 2026-07-13 15:13:01 发布自安徽，悬赏 30 积分
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