Excellent Improvement of Contact Resistivity and Thermal Stability for High Temperature Process After Silicidation of TiSi2 Through Ta Interlayer for Diffusion Barrier - 科研通

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标题	Excellent Improvement of Contact Resistivity and Thermal Stability for High Temperature Process After Silicidation of TiSi2 Through Ta Interlayer for Diffusion Barrier
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/55/10168002/10131948.pdf...
DOI	10.1109/led.2023.3279143 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Min-Su Kim; S. Hwang; Seung-Hwan Kim; Jong-Hyun Kim; Euyjin Park; et al 出版日期：2023-07-01
求助人	XiaoNa 在 2026-07-23 16:43:30 发布自江西，悬赏 10 积分
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Taylor & Francis

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