Evaluation of the accuracy of stopping and range of ions in matter simulations through secondary ion mass spectrometry and Rutherford backscattering spectrometry for low energy heavy ion implantation

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标题	Evaluation of the accuracy of stopping and range of ions in matter simulations through secondary ion mass spectrometry and Rutherford backscattering spectrometry for low energy heavy ion implantation
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001406
DOI	10.1116/6.0001406 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Michael Titze; Jose L Pacheco; Todd A. Byers; Stuart B. Van Deusen; Daniel Perry; et al 出版日期：2021-11-12
求助人	艾萨克凯隆在 2026-08-22 20:35:57 发布自天津，悬赏 10 积分
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