Finite element analysis on factors influencing the clamping force in an electrostatic chuck

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标题	Finite element analysis on factors influencing the clamping force in an electrostatic chuck
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1674‑4926/35/9/094011
DOI	10.1088/1674‑4926/35/9/094011 doi
求助人	发我篇文献在 2026-08-19 15:17:59 发布自重庆，悬赏 20 积分
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