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标题
Elucidation of the atomic-scale mechanism of the anisotropic oxidation rate of 4H-SiC between the (0001) Si-face and (0001¯) C-face by using a new Si-O-C interatomic potential
网址
http://dx.doi.org/10.1063/1.5028273
DOI
10.1063/1.5028273 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：So Takamoto; Takahiro Yamasaki; Takahisa Ohno; Chioko Kaneta; Asuka Hatano; et al
出版日期：2018-05-10
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