Low weight spreading resistance profiling of ultrashallow dopant profiles

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标题	Low weight spreading resistance profiling of ultrashallow dopant profiles
网址	https://doi.org/10.1116/1.589817
DOI	10.1116/1.589817 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：P. De Wolf; T. Clarysse; W. Vandervorst; L. Hellemans 出版日期：1998
求助人	机智如冬在 2026-06-14 20:26:03 发布自上海，悬赏 10 积分
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