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High dielectric constant TiO2 thin films on a Ru electrode grown at 250 °C by atomic-layer deposition 250℃Ru电极上原子层沉积高介电常数TiO2薄膜
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Seong Keun Kim; Wan-Don Kim; Kyung-Min Kim; Cheol Seong Hwang; Jaehack Jeong 出版日期:2004-11-01 |
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