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Microscopic study of submonolayer nucleation characteristics during GaN (0001) homoepitaxial growth GaN(0001)同质外延生长过程中亚单层形核特性的显微研究
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Peng Su; Wensen Ai; Xuejiang Chen; Lijun Liu 出版日期:2023-10-26 |
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