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Interface charge engineering on an in situ SiNx/AlGaN/GaN platform for normally off GaN MIS-HEMTs with improved breakdown performance 具有改进击穿性能的常关GaN MIS-HEMT原位SiNx/AlGaN/GaN平台上的界面电荷工程
相关领域
材料科学
光电子学
钝化
高电子迁移率晶体管
晶体管
宽禁带半导体
原子层沉积
电介质
击穿电压
半导体
带材弯曲
电压
绝缘体(电)
图层(电子)
电气工程
纳米技术
工程类
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Jiaqi He; Kangyao Wen; Peiran Wang; Minghao He; Fangzhou Du; et al 出版日期:2023-09-04 |
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