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 Piezoelectric thin films and their applications in MEMS: A review 压电薄膜及其在微机电系统中的应用
相关领域
微电子机械系统
小型化
压电
材料科学
纳米制造
功率消耗
薄膜
纳米技术
功率（物理）
复合材料
量子力学
物理
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Jinpeng Liu; Hua Tan; Xinyi Zhou; Weigang Ma; Chuanmin Wang; et al 出版日期：2025-01-13 |
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