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 One-step in-situ low damage etching of SiC/SiC composites by high-temperature chemical-assisted laser processing 高温化学辅助激光原位低损伤刻蚀SiC/SiC复合材料
相关领域
材料科学
复合材料
各向同性腐蚀
蚀刻（微加工）
激光器
图层（电子）
反应离子刻蚀
光学
物理
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期刊：Ceramics International 作者：Xi Wang; K. Zimmer; Martin Ehrhardt; Fengyun Zhang; Jin Wang; et al 出版日期：2022-12-01 |
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