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Microfabrication of SrRuO3 thin films on various oxide substrates using LaAlO3/BaOx sacrificial bilayers LaAlO3/BaOx牺牲双层在不同氧化物衬底上微加工SrRuO3薄膜
相关领域
材料科学
双层
薄膜
制作
氧化物
纳米技术
光刻
光电子学
膜
冶金
遗传学
医学
生物
病理
替代医学
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期刊: 作者:T. Harada; Atsushi Tsukazaki 出版日期:2018-02-23 |
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